مخروط های پرتو یونی

مخروط های پرتو یونی SIKAIDA اجزای اصلی سیستم های کاشت و انتقال پرتو یونی هستند. ساخته شده از مواد سرامیکی پیشرفته با خلوص بالا و پردازش شده از طریق قالب گیری تزریقی دقیق و تف جوشی در دمای بالا، دارای محتوای ناخالصی بسیار کم، مقاومت در برابر دمای بالا و دقت ابعادی پایدار هستند. آنها را می توان در هندسه های پیچیده ماشین کاری کرد تا الزامات تحمل بسیار بالا را برآورده کنند، که آنها را برای فرآیندهای کاشت یون نیمه هادی با کارایی بالا مناسب می کند.

SIKAIDA به عنوان یک تولید کننده حرفه ای در چین، مخروط های پرتو یون قابل اعتماد، مقرون به صرفه و قابل تنظیم را به مشتریان در سراسر جهان در زمینه های نیمه هادی، صفحه نمایش تخت، اپتیک، سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) و انرژی خورشیدی ارائه می دهد. SIKAIDA یک تامین کننده قابل اعتماد طولانی مدت و کارخانه تولید اختصاصی برای اجزای فرآیند پرتو یونی پیشرفته است.

مواد و ساخت

1. مواد

مخروط پرتو یونی از موادی مانند آلومینا (Al2O3) با خلوص ≥99.9٪، نیترید سیلیکون (Si3N4) با خلوص ≥99.5٪، اکسید زیرکونیوم (ZrO2) با خلوص ≥9.9.9٪ و سیلیس 9.9.9 ≥ و (9.9.8٪) استفاده می کند. همه مواد با استانداردهای دقیق خلوص صنعت نیمه هادی مطابقت دارند و برای الزامات عملکرد کاربردهای مختلف مناسب هستند.

2. فرآیند تولید

فرآیند تولید شامل قالب گیری تزریقی دقیق، تف جوشی در دمای بالا، ماشینکاری دقیق CNC، پرداخت سطح آینه و تمیز کردن و آزمایش خودکار است. هر فرآیند به شدت از نظر دقت و کیفیت کنترل می شود تا اطمینان حاصل شود که محصول نهایی با استانداردهای صنعت و نیازهای مشتری مطابقت دارد.

پارامترهای کلیدی محصول

1. دقت ابعادی

مخروط های پرتو یونی دارای تلورانس های کنترل شده در 0.05± میلی متر، زبری سطح Ra≤0.4μm، دقت مخروطی سوراخ داخلی ± 0.02 میلی متر، هم محوری ≤0.03 میلی متر، و عمود بر ≤0.02 میلی متر هستند. این دقت ابعادی بسیار بالا به طور موثری دقت انتقال پرتو یونی را تضمین می کند.

2. درمان سطحی

درمان‌های سطح شامل پولیش مکانیکی برای پرداخت آینه‌ای، پوشش‌های خشک شده با اشعه ماوراء بنفش برای افزایش خواص سطحی، پوشش‌های مقاوم در برابر خراش برای بهبود مقاومت در برابر سایش، و ترشی اسید و غیرفعال‌سازی برای حذف ناخالصی‌ها و بهبود پایداری است. روش های درمانی مناسب را می توان بر اساس نیازهای کاربردی انتخاب کرد.

3. شاخص های عملکرد

مخروط های پرتو یونی در محدوده دمایی -196 تا +800 درجه سانتیگراد کار می کنند و عملکرد پایدار در محیط های با دمای شدید را تضمین می کنند. آنها دارای مقاومت حجمی ≥1014Ω·cm و مقاومت سطحی ≥1012Ω هستند که خواص عایق عالی را از خود نشان می دهند. آنها همچنین دارای مقاومت برجسته در برابر پلاسما و خوردگی شیمیایی هستند که به آنها اجازه می دهد تا با محیط های فرآیند پیچیده سازگار شوند.

مزایای اصلی

1. خلوص فوق العاده بالا: خلوص مواد خام بیش از 99.9٪ است، به حداقل رساندن آلودگی ویفرهای نیمه هادی، اطمینان از عملکرد الکتریکی پایدار دستگاه ها، و برآورده کردن الزامات خلوص دقیق تولید نیمه هادی.

2. دقت هندسی بسیار بالا: ابعاد محصول را در طول تولید انبوه، با خطای مخروطی کنترل شده در ± 0.05 میلی متر و خطای گردی ≤0.02 میلی متر، تضمین می کند که دقیقاً با الزامات نصب و استفاده سیستم های انتقال پرتو یونی مطابقت دارد.

3. کیفیت سطح آینه مانند: زبری سطح Ra≤0.4μm، به طور موثری پراکندگی پرتو یونی را کاهش می دهد، یکنواختی انتقال پرتو یونی را بهبود می بخشد و دقت کاشت دستگاه های نیمه هادی را بیشتر بهینه می کند.

4. پایداری محدوده دمایی گسترده: به طور پایدار در محیط های برودتی عمیق تا دمای بالا عمل می کند. این ماده دارای ضریب انبساط حرارتی بسیار کم است، پایداری ابعادی عالی را حتی با تغییرات دما حفظ می کند و از تاثیرات عملکرد ناشی از نوسانات دما جلوگیری می کند.

5. عایق عالی و مقاومت در برابر خوردگی: به طور موثر از تجمع بار در طول انتقال پرتو یونی جلوگیری می کند و در برابر اسیدهای قوی، قلیایی های قوی و خوردگی های مختلف پلاسما مقاومت می کند و عملکرد پایدار طولانی مدت در محیط های فرآیند پیچیده را تضمین می کند.

خدمات سفارشی

مدل ها و اندازه های محصول را می توان با توجه به نیازهای فرآیند مختلف سفارشی کرد. فرمت های طراحی پشتیبانی شده عبارتند از STP، STEP، IGS، XT، DXF، DWG، PDF و نمونه های فیزیکی. با توجه به زمان تحویل، تحویل نمونه 4-7 هفته و تحویل محصول دسته ای 8-12 هفته است. سیستم کیفیت ما با استانداردهای ISO9001:2015، SGS RoHS، REACH و SEMI مطابقت دارد و به طور جامع کیفیت محصول و کارایی تحویل را تضمین می کند.

حوزه های کاربردی

مخروط های پرتو یونی به طور گسترده در زمینه های مختلف استفاده می شود، از جمله کاشت یونی در تولید نیمه هادی، تجهیزات پردازش در نمایشگرهای صفحه تخت، سیستم های رسوب پرتو یونی (IBD) و اچینگ پرتو یونی (IBE) در ساخت دستگاه های نوری، سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) و تجهیزات پردازشی برای سلول های انرژی خورشیدی دستگاه های نیمه هادی مانند ترانزیستورهای دوقطبی با گیت عایق (IGBT) و ماسفت های قدرت.

سوالات متداول:

Q1: چه موادی معمولاً در مخروط های پرتو یونی استفاده می شود؟

A1: ما در درجه اول از مواد سرامیکی پیشرفته مانند آلومینا با خلوص بالا (Al2O3)، نیترید سیلیکون (Si3N4) و اکسید زیرکونیوم (ZrO2) استفاده می کنیم. این مواد دارای خلوص بسیار بالا، مقاومت عالی در برابر دمای بالا و خواص الکتریکی پایدار هستند.

Q2: آیا UET می تواند مشخصات سفارشی و درمان های سطحی را ارائه دهد؟ 

ج2: بله. UET می‌تواند اندازه، مخروطی، نوع مواد و عملیات سطح مخروط‌ها را با توجه به نیاز فرآیند شما سفارشی کند. ما تجربه تولید گسترده ای داریم و می توانیم نیازهای کاربردی خاص مشتریان را برآورده کنیم.

Q3: دقت و کیفیت مخروط های پرتو یونی چگونه تضمین می شود؟

A3: ما سیستم مدیریت کیفیت ISO9001:2015 را پذیرفته ایم و به تجهیزات تست با دقت بالا، از جمله دستگاه اندازه گیری مختصات، تستر زبری سطح، و طیف سنج فلورسانس اشعه ایکس مجهز شده ایم تا اطمینان حاصل شود که هر دسته از محصولات مطابق با استانداردهای سختگیرانه صنعت هستند.

Q4: چرخه تحویل چیست؟

A4: چرخه تحویل نمونه 4-7 هفته است و چرخه تحویل محصول دسته ای 8-12 هفته است. چرخه خاص به پیچیدگی محصول و مقدار سفارش بستگی دارد.